imec 展示 NbTiN 超导数字电路关键结构，可实现百倍能效提升
2024-12-28 16:36:50
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偷偷努力，悄无声息地变强，然后惊艳所有人！哈哈，小伙伴们又来学习啦~今天我将给大家介绍《imec 展示 NbTiN 超导数字电路关键结构，可实现百倍能效提升》，这篇文章主要会讲到等等知识点，不知道大家对其都有多少了解，下面我们就一起来看一吧！当然，非常希望大家能多多评论，给出合理的建议，我们一起学习，一起进步！
比利时imec微电子研究中心在IEEE IEDM 2024国际电子器件会议上展示了基于NbTiN超导材料的数字电源关键模块，包括互连、约瑟夫森结和MIM电容器。这些模块具有可扩展性，兼容300mm CMOS制造工艺，并能承受420℃的高温工艺。
imec表示，其第一代超导数字电路的能效比7nm CMOS系统提升了100倍，性能提升了10到100倍。
imec的NbTiN超导互联采用半大马士革集成工艺，实现了50nm的导线和通孔临界尺寸，临界温度高于13K，临界电流密度大于120 mA/μm²。约瑟夫森结采用夹在两个NbTiN层之间的aSi材料，临界电流密度超过2.5 mA/μm²。此外，imec还展示了基于HZO材料、使用NbTiN电极的可调谐电容器，其电容密度约为8 fF/μm²。 所有这些模块都满足了imec设想的系统工艺规范。
终于介绍完啦！小伙伴们，这篇关于《imec 展示 NbTiN 超导数字电路关键结构，可实现百倍能效提升》的介绍应该让你收获多多了吧！欢迎大家收藏或分享给更多需要学习的朋友吧~golang学习网公众号也会发布科技周边相关知识，快来关注吧！
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