消息称三星电子测试 TEL 公司 Acrevia GCB 设备以改进 EUV 光刻工艺
来源：IT之家
2024-09-11 23:37:00
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从现在开始，我们要努力学习啦！今天我给大家带来《消息称三星电子测试 TEL 公司 Acrevia GCB 设备以改进 EUV 光刻工艺》，感兴趣的朋友请继续看下去吧！下文中的内容我们主要会涉及到等等知识点，如果在阅读本文过程中有遇到不清楚的地方，欢迎留言呀！我们一起讨论，一起学习！
本站 9 月 3 日消息，据韩媒 The Elec 昨日报道，三星正对 Tokyo Electron (TEL) 的 Acrevia GCB 气体团簇光束（本站注：Gas Cluster Beam）系统进行测试。TEL 的 Acrevia GCB 系统发布于今年 7 月 8 日，可通过气体团簇光束对 EUV 光刻图案进行局部精确整形，从而修复图案缺陷、降低图案粗糙度。
此外 Acrevia 系统还可用于消除在 EUV 光刻错误中占约一半的随机错误，提升产品良率。
TEL 相关人士表示潜在客户确实正在进行 Acrevia 系统测试，该设备预计将首先用于逻辑代工而非存储器领域。
此前三星电子已在 4nm 工艺上对应用材料的 Centura Sculpta 进行了测试，如今又测试 TEL 的设备，旨在加强两大半导体设备供应商间的图案塑形订单竞争。
终于介绍完啦！小伙伴们，这篇关于《消息称三星电子测试 TEL 公司 Acrevia GCB 设备以改进 EUV 光刻工艺》的介绍应该让你收获多多了吧！欢迎大家收藏或分享给更多需要学习的朋友吧~golang学习网公众号也会发布科技周边相关知识，快来关注吧！
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