华虹虹芯基金独投大束科技，进军半导体检测

华虹虹芯基金近日完成了对大束科技的A轮独家投资。大束科技成立于2018年，专注于半导体量检测及实验室电镜核心部件的研发和电子束设备的运维，拥有5项发明专利。其产品线涵盖电子枪、离子枪等关键部件，广泛适用于各类电子束设备。本轮融资将助力大束科技加快研发创新和产能扩张，提升国内集成电路产业供应链的安全性，减少对进口部件的依赖。

据国方创新发布，近日，华虹虹芯基金完成了对大束科技（北京）有限责任公司（简称“大束科技”）的A轮独家投资。

官方资料显示，大束科技成立于2018年，专注于半导体量检测及实验室电镜核心部件的研发和电子束设备的运维，拥有5项发明专利。在电子束设备的消耗性与易损性部件领域表现出色，目前已成功进入规模化量产阶段。

大束科技的产品线不断扩展，涵盖电子枪、离子枪、探测器、光阑等关键部件，全面满足存量电镜的维修保养需求，并广泛适用于各类电子束设备，深受科研及半导体客户的青睐。公司自主研发的热场发射电子源与液态镓离子源产品，其性能和使用寿命已达到全球领先水平，并能在各类机型上完美替代进口产品，成功解决了关键部件国产化的难题。

本轮融资后，大束科技将加快研发创新和产能扩张，助力提升国内集成电路产业供应链的安全性，减少对进口部件的依赖。未来，大束科技的稳定供应能力将进一步为国产电镜厂家提供更优质的核心部件支持；同时帮助中国境内的半导体量测和电子显微镜外企实现本地化采购，提高服务效率。（校对/李梅）

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