奕斯伟晶圆外延生长基座装置专利震撼发布
2025-04-09 15:37:32
0浏览
收藏
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日发布一项关于“用于晶圆外延生长的基座和装置”的专利（CN119530959A），该专利技术致力于提升半导体晶圆外延生长工艺精度。专利设计了一种新型圆盘形基座，通过独特的N个第一扇形区和N个第二扇形区设计，有效控制基座与晶圆温差，从而调节晶圆生长速率，最终实现晶圆厚度更均匀，显著提升Nano级产品品质。这项创新技术将为半导体产业的高精度晶圆制造提供有力支撑，推动行业技术进步。
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日公布一项名为“用于晶圆外延生长的基座和装置”的新专利（申请公布号：CN119530959A，申请公布日：2025年2月28日）。
该专利涉及半导体技术领域，旨在提升晶圆外延生长工艺的精度。专利描述了一种新型基座，其圆盘形承载结构由N个第一扇形区和N个第二扇形区构成，其中第一扇形区边缘区域厚度大于内部区域厚度，而第二扇形区厚度均匀。这种设计能够有效控制基座与晶圆之间不同区域的温差，从而调节晶圆生长速率，最终实现晶圆厚度更均匀，显著提升Nano品质。
以上就是《奕斯伟晶圆外延生长基座装置专利震撼发布》的详细内容，更多关于晶圆外延,基座设计,温差控制的资料请关注golang学习网公众号！
input:JS、PHP和Apache视频切片上传48MB以上文件解决方案
- 上一篇
- input:JS、PHP和Apache视频切片上传48MB以上文件解决方案
- 下一篇
- 用纯CSS让父容器高度仅由文字内容决定，不被图片撑开的网页设计技巧
查看更多
最新文章
-
- 科技周边 · 人工智能 | 2小时前 | 向量检索 ·
- 向量检索与关键词检索怎样做混合召回
- 293浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 4小时前 | 人工智能 ·
- 智能体评测不只看成功率：步骤、成本与恢复能力怎么量
- 290浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 22小时前 |
- 模型路由怎么做：按任务难度分配速度、成本与质量
- 147浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 1天前 |
- 多模态模型读图前，图片缩放与裁切会影响什么
- 247浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 1天前 | 人工智能 · 推理优化 ONNX Runtime 动态量化 nodes_to_exclude
- ONNX Runtime 动态量化怎么选择需要排除的节点
- 377浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 1天前 | 人工智能 · 向量检索 · Sentence Transformers truncate_dim 嵌入维度 Matryoshka 向量存储
- Sentence Transformers 怎么截断嵌入维度减少存储
- 165浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 1天前 |
- PEFT 多个 adapter 怎么按权重组合推理
- 454浏览 收藏
-
- 科技周边 · 人工智能 | 1天前 |
- Accelerate 大模型推理怎么自动分配到多块设备
- 358浏览 收藏
查看更多
课程推荐
-
- 前端进阶之JavaScript设计模式
- 设计模式是开发人员在软件开发过程中面临一般问题时的解决方案，代表了最佳的实践。本课程的主打内容包括JS常见设计模式以及具体应用场景，打造一站式知识长龙服务，适合有JS基础的同学学习。
- 543次学习
-
- GO语言核心编程课程
- 本课程采用真实案例，全面具体可落地，从理论到实践，一步一步将GO核心编程技术、编程思想、底层实现融会贯通，使学习者贴近时代脉搏，做IT互联网时代的弄潮儿。
- 516次学习
-
- 简单聊聊mysql8与网络通信
- 如有问题加微信：Le-studyg；在课程中，我们将首先介绍MySQL8的新特性，包括性能优化、安全增强、新数据类型等，帮助学生快速熟悉MySQL8的最新功能。接着，我们将深入解析MySQL的网络通信机制，包括协议、连接管理、数据传输等，让
- 500次学习
-
- JavaScript正则表达式基础与实战
- 在任何一门编程语言中,正则表达式,都是一项重要的知识,它提供了高效的字符串匹配与捕获机制,可以极大的简化程序设计。
- 487次学习
-
- 从零制作响应式网站—Grid布局
- 本系列教程将展示从零制作一个假想的网络科技公司官网，分为导航，轮播，关于我们，成功案例，服务流程，团队介绍，数据部分，公司动态，底部信息等内容区块。网站整体采用CSSGrid布局，支持响应式，有流畅过渡和展现动画。
- 485次学习
查看更多
AI推荐
-
- PubMedQA
- 深入了解PubMedQA生物医学问答数据集，涵盖其核心功能、使用方法及在临床决策、药物研发等场景的应用，助力提升NLP模型性能。
- 375次使用
-
- H2O EvalGPT
- H2O EvalGPT是H2O.ai推出的开源LLM评估平台，提供详细的大模型性能排行榜、行业特定基准测试及A/B测试功能，助您快速选择最适合项目的高性能大语言模型。
- 447次使用
-
- LMArena
- LMArena是加州大学伯克利分校推出的AI模型匿名评测平台。通过盲测投票机制，用户可对比不同大模型回答并生成实时排行榜，助力开发者优化模型及用户选择最佳AI工具。
- 455次使用
-
- HELM
- 深入了解斯坦福推出的HELM（Holistic Evaluation of Language Models）大模型评测体系。本文解析其核心功能、安装配置步骤及应用场景，涵盖准确性、公平性、鲁棒性等多维度指标，助力开发者全面优化语言模型性能。
- 399次使用
-
- MMBench
- MMBench是由上海人工智能实验室等机构联合推出的多模态基准测试平台，提供细粒度能力评估、大规模数据集及VLMEvalKit工具。本文详细介绍其核心功能、安装使用方法及应用场景，助力开发者全面评估多模态模型性能。
- 226次使用
查看更多
相关文章
-
- 本地大模型反复输出同一句话怎么调整生成参数
- 2026-09-06 501浏览
-
- Python 调用大模型时如何用结构化输出校验 JSON：从解析失败到可重试
- 2026-08-29 501浏览
-
- AI写作工具免费版安装教程（含豆包Clawdbot）
- 2026-05-30 501浏览
-
- WPS AI能自动生成PPT吗？输入主题一键制作演示文稿
- 2026-05-27 501浏览
-
- Canva手机闪退解决方法及适配指南
- 2026-05-25 501浏览
