励兆科技完成数千万Pre-A++轮融资，正式启用上海临港新厂区

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半导体设备关键零部件供应商励兆科技近日喜获数千万元Pre-A++轮融资，并正式启用上海临港新厂区，标志着其在半导体领域的快速发展。

本轮融资由金浦智能领投，临港科创投等机构跟投。 这笔资金将助力励兆科技在技术研发、生产规模和市场开拓方面取得更大突破。

励兆科技拥有一支由资深半导体青年科学家组成的核心团队，其专业领域覆盖射频电力电子、等离子体科学和半导体设备工艺等。公司主要产品包括射频电源、自动匹配器、远程等离子源、等离子体探测器及其他射频部件，已成功应用于国内多家主要客户的刻蚀、CVD、PVD、ALD、RTP和离子注入等工艺设备中。

2024年11月，励兆科技临港产业化基地正式启用，临港管委会、临港奉贤公司、上海交大临港智创公司以及产业链合作伙伴共同见证了这一里程碑事件。 占地约4400平米的临港工厂，配备了半导体级千级无尘车间、可靠性实验室和老化车间（含多台HASS设备），将建成多条射频产品生产线，实现半导体设备核心射频零部件的规模化生产，加速国产化进程。

励兆科技团队致力于自主创新，已成功研发并验证数十款半导体设备专用射频产品。未来，公司将与客户紧密合作，积极研发新一代射频产品，以满足先进半导体工艺的需求，为中国半导体产业发展贡献力量。

本轮领投方金浦智能总裁田华峰表示，金浦智能很荣幸参与励兆科技的投资，并见证了其在短短两年内取得的显著成就，包括组建高素质团队、建立高壁垒产品体系以及成功进入国内多个龙头企业。

金浦智能项目负责人业务董事梁钊指出，射频电源是半导体设备的核心部件，励兆科技作为国内少数拥有自主研发能力的团队，在两年多时间内发展迅速，研发了数十款射频产品，并成功应用于先进工艺的刻蚀和沉积设备，为国产半导体设备的突破提供了重要支持。 金浦智能对励兆科技的未来发展充满信心。

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