三安半导体“碳化硅功率器件的制备方法及其碳化硅功率器件”专利公布
来源：laoyaoba
2024-12-23 15:37:00
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珍惜时间，勤奋学习！今天给大家带来《三安半导体“碳化硅功率器件的制备方法及其碳化硅功率器件”专利公布》，正文内容主要涉及到等等，如果你正在学习科技周边，或者是对科技周边有疑问，欢迎大家关注我！后面我会持续更新相关内容的，希望都能帮到正在学习的大家！
天眼查显示，湖南三安半导体有限责任公司“碳化硅功率器件的制备方法及其碳化硅功率器件”专利公布，申请公布日为2024年10月18日，申请公布号为CN118800798A。
本申请提供的碳化硅功率器件的制备方法及其碳化硅功率器件，包括：
- 在半导体元胞的沟道区上层叠形成张应力材料层和压应力材料层，其中张应力材料层位于压应力材料层与半导体外延片之间，且张应力材料层的应力值大于压应力材料层的应力值。
- 对形成有张应力材料层和压应力材料层的半导体外延片进行高温快速退火处理。
通过层叠形成张应力材料层和压应力材料层，且张应力材料层的应力值大于压应力材料层的应力值，在高温快速退火处理后，张应力材料层与压应力材料层之间产生的净剩张应力传递至沟道内，从而改善沟道迁移率，降低比导通电阻。
本篇关于《三安半导体“碳化硅功率器件的制备方法及其碳化硅功率器件”专利公布》的介绍就到此结束啦，但是学无止境，想要了解学习更多关于科技周边的相关知识，请关注golang学习网公众号！
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