北方华创“晶舟及半导体工艺设备”专利公布
2024-12-08 21:33:46
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小伙伴们对科技周边编程感兴趣吗？是否正在学习相关知识点？如果是，那么本文《北方华创“晶舟及半导体工艺设备”专利公布》，就很适合你，本篇文章讲解的知识点主要包括。在之后的文章中也会多多分享相关知识点，希望对大家的知识积累有所帮助！
北方华创微电子装备有限公司近日公布一项名为“晶舟及半导体工艺设备”的新专利（申请公布号：CN118866781A，申请公布日：2024年10月29日）。该专利技术旨在提升半导体工艺中晶片镀膜厚度的均匀性。
专利技术方案的核心在于一种新型晶舟设计。该晶舟由多个平行等距排列的舟片组成，这些舟片被划分为相互绝缘的多个片区。每个片区内的舟片都设有连接孔，可与射频调节组件连接。不同片区的舟片通过不同的射频调节部件与射频源连接，并确保相邻舟片的电极极性相反。这种设计能够有效提高单次工艺中多个晶片的镀膜厚度一致性，从而提升生产效率和产品质量。
今天关于《北方华创“晶舟及半导体工艺设备”专利公布》的内容就介绍到这里了，是不是学起来一目了然！想要了解更多关于北方华创的内容请关注golang学习网公众号！
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