泰科天润VDMOS专利发布，降低反向干扰
2025-07-14 21:39:52
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珍惜时间，勤奋学习！今天给大家带来《泰科天润发布新型VDMOS专利，降低反向干扰》，正文内容主要涉及到等等，如果你正在学习科技周边，或者是对科技周边有疑问，欢迎大家关注我！后面我会持续更新相关内容的，希望都能帮到正在学习的大家！
天眼查信息显示，泰科天润半导体科技（北京）有限公司于2025年3月14日公开了一项名为“一种低反向恢复干扰平面栅VDMOS及其制备方法”的专利，专利申请公布号为CN119630038A。
该发明涉及一种具备低反向恢复干扰特性的平面栅VDMOS器件及其制造工艺。在带有漏极金属层的碳化硅基板上设置阻挡层，并通过光刻工艺形成开口；随后对碳化硅基板进行离子注入，以形成多个缓冲区域；去除阻挡层后，在碳化硅基板上进行外延生长，从而获得漂移层；接着在漂移层表面重新沉积阻挡层，经刻蚀和离子注入处理后，分别形成变掺杂区、P型阱区、P型源区以及N型源区；再次形成阻挡层并刻蚀出通孔后，沉积栅介质层；继续在表面形成阻挡层并刻蚀，之后沉积金属材料，形成栅极金属层；最后再次设置阻挡层并开孔，沉积金属形成源极金属层，去除阻挡层后完成整体结构。该设计通过在器件内部引入缓冲区，显著降低了反向恢复过程中电压上升沿的过冲现象，从而减少了对外部电路的电磁干扰。
今天带大家了解了的相关知识，希望对你有所帮助；关于科技周边的技术知识我们会一点点深入介绍，欢迎大家关注golang学习网公众号，一起学习编程~
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