东方晶源专利获批：电子束成像补偿技术详解

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天眼查信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司近期获得了一项新专利，名称为“电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备”，授权公告号为CN117011405B，授权日期为2025年3月14日，申请时间为2023年6月28日。

该专利提供了一种用于电子束扫描成像中干扰信号补偿的方法及相关装置和电子设备。具体方案包括：获取基准方向上的扫描图像；根据该扫描图像确定其中干扰信号的基准信号模型；依据所述基准信号模型构建目标补偿模型；并利用该目标补偿模型对扫描方向上的干扰信号进行补偿处理。通过此方法，有效解决了电子束扫描过程中因振动或噪声等因素导致图像质量下降的问题，提高了图像分辨率，并减少了图像定位误差。

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