上海微电子专利曝光：偏振器件透光轴标定新方法

上海微电子近日公布一项关于偏振器件透光轴标定装置及方法的专利（CN119437647A）。该专利利用线栅偏振片和旋转电机，通过测量光功率变化，精准确定偏振器件透光轴。 系统通过测量线栅偏振片刻画方向、偏振器件透光轴标记与机械基准的夹角以及光功率最小值时的电机旋转角度，最终计算出偏振器件透光轴相对于透光轴标记的角度，实现高效便捷的透光轴标定，为光学器件制造提供了一种新的精准标定方案。 此项技术突破有望提升光学设备的精度和效率。

上海微电子装备（集团）股份有限公司近日公布一项专利——“偏振器件透光轴标定装置及偏振器件透光轴标定方法”（申请公布号：CN119437647A，申请公布日：2025年2月14日）。

该专利技术利用线栅偏振片和旋转电机，通过测量光功率变化来精准标定偏振器件的透光轴。 当旋转电机驱动偏振器件旋转至光功率最小值时，表示线栅偏振片的刻画方向与偏振器件透光轴平行。 系统测量线栅偏振片刻画方向与机械基准的夹角Φ，偏振器件透光轴标记与机械基准的夹角α，以及光功率最小值时的电机旋转角度θ。 最终，通过计算Φ、α和θ，即可确定偏振器件透光轴相对于透光轴标记的角度，实现高效简便的透光轴标定。

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