华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”专利公布
2025-01-24 17:57:35
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来到golang学习网的大家，相信都是编程学习爱好者，希望在这里学习科技周边相关编程知识。下面本篇文章就来带大家聊聊《华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”专利公布》，介绍一下，希望对大家的知识积累有所帮助，助力实战开发！
华海清科股份有限公司一项名为“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”的专利申请已于2024年12月13日公开，申请公布号为CN119115785A。
该专利提出了一种用于晶圆加工的承载头和化学机械抛光设备。此承载头包含：承载头主体；位于承载头主体面向晶圆一侧的保持环，用于固定晶圆；以及一个防滑机构，该机构至少部分位于保持环内，并可轴向伸缩。当保持环接触抛光单元时，防滑机构会缩回保持环内；当保持环与抛光单元轴向分离时，防滑机构会从保持环伸出。该防滑机构采用耐腐蚀材料制成。这项技术方案有效防止晶圆滑落，降低晶圆破损风险，并确保防滑机构的有效性。
今天关于《华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”专利公布》的内容就介绍到这里了，是不是学起来一目了然！想要了解更多关于华海清科的内容请关注golang学习网公众号！
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