国微集团专利授权：门级电路划分新技术

国微集团近日喜获一项关于门级电路划分方法的专利授权（专利号：CN112883671B），该专利提出了一种基于割集与顶点特征的新方法，有效提升了电路划分效率。这项于2025年2月14日授权的专利，申请日期为2021年2月24日，标志着国微集团在集成电路设计领域取得了重要突破，为半导体产业发展提供了新的技术支持。 该专利还涉及一种新型进气装置及半导体设备设计，通过独特的匀流结构和气体分配结构，实现了气体分配的精准控制。

天眼查数据显示，国微集团（深圳）有限公司近期获得了一项专利，专利名称为“基于割集与顶点特征的门级电路划分方法”，专利号为CN112883671B，授权公告日期为2025年2月14日，申请日期为2021年2月24日。

本发明提出了一种新的进气装置及半导体设备设计。该进气装置包含匀流结构和气体分配结构。匀流结构由多个环形匀流腔和与之相连的多个进气管道组成；在环形匀流腔的径向外侧均匀分布着多个第一出气孔。气体分配结构则包括多个与环形匀流腔同轴的环形配气腔，这些配气腔外周面上的第二出气孔分布不均匀。此外，气体分配结构可以在第一位置和第二位置之间移动：当位于第一位置时，气体分配结构环绕匀流结构外周，各环形配气腔的进气端与第一出气孔密封连接，从而通过第二出气孔不均匀地排出气体；当移动到第二位置时，气体分配结构与匀流结构外周面错开，使得第一出气孔暴露在半导体工艺腔室内，实现均匀出气。

本篇关于《国微集团专利授权：门级电路划分新技术》的介绍就到此结束啦，但是学无止境，想要了解学习更多关于科技周边的相关知识，请关注golang学习网公众号！