聚时科技“一种多自由度运动装置及晶圆承载装置”专利公布
2025-01-11 17:54:20
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有志者，事竟成！如果你在学习科技周边，那么本文《聚时科技“一种多自由度运动装置及晶圆承载装置”专利公布》，就很适合你！文章讲解的知识点主要包括，若是你对本文感兴趣，或者是想搞懂其中某个知识点，就请你继续往下看吧~
聚时科技（上海）有限公司一项名为“一种多自由度运动装置及晶圆承载装置”的专利技术已于2024年10月29日公开，申请公布号为CN118858155A。天眼查信息显示了该专利信息。
该发明属于半导体检测技术领域，旨在改进晶圆放置台的设计。其核心在于一种多自由度运动装置，通过巧妙的气浮结构设计，显著提升了运动轴在轴向和周向的运动稳定性。专利技术利用气浮套、三个气浮限位柱以及三个间接连接运动轴的轴向位移电机，实现了高精度、高频率、高响应的垂直方向运动和旋转运动。
今天关于《聚时科技“一种多自由度运动装置及晶圆承载装置”专利公布》的内容就介绍到这里了，是不是学起来一目了然！想要了解更多关于聚时科技的内容请关注golang学习网公众号！
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