北方华创“形成沟槽结构、去除沟槽内副产物方法及晶片承载装置”专利公布
2025-01-20 08:27:47
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今天golang学习网给大家带来了《北方华创“形成沟槽结构、去除沟槽内副产物方法及晶片承载装置”专利公布》，其中涉及到的知识点包括等等，无论你是小白还是老手，都适合看一看哦~有好的建议也欢迎大家在评论留言，若是看完有所收获，也希望大家能多多点赞支持呀！一起加油学习~
北方华创微电子装备有限公司一项关于晶片制造的新专利——“形成沟槽结构、去除沟槽内副产物方法及晶片承载装置”——已于2024年8月26日公开，申请公布号为CN119132945A。
该专利公开了一种改进的晶片处理方法和装置。 其核心在于使用一个带有倾斜晶片槽的晶片承载装置。 将晶片放置在该装置中后放入工艺腔室，晶片处于倾斜状态，保证沟槽的一侧侧壁最大程度地接触刻蚀气体。 通过两次刻蚀，每次旋转晶片改变沟槽朝向，从而有效去除沟槽两侧壁上的副产物。 这种方法显著降低了沟槽侧壁粗糙度，并减弱了沟槽底部微凹槽缺陷，提升了晶片制造精度。
以上就是《北方华创“形成沟槽结构、去除沟槽内副产物方法及晶片承载装置”专利公布》的详细内容，更多关于北方华创的资料请关注golang学习网公众号！
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